營業項目

特殊氣體供應系統設計及製作、爐管設備供氣面盤設計及製作、蝕刻設備閥組件製作、真空管路製作及修造、Trap製作及修造、高壓大流量供氣系統設計及製作…等。

 

 

 

管件等級

  

 

BA管等級

（Bright Annealing）

光亮熱處理，適用於排氣及無腐蝕性氣體。

EP管等級

（Electro polishing）

電解研磨（亮面），適用於要求管道內面具有超高度平滑性與抗腐蝕性要求半導體，面板，生技醫療，高真空等產業。

UP管等級

（ULTRA EXTREME PURE）

特殊內部處理技術，是利用特殊研磨處理技術、除去金屬表面的加工變質層、加工硬化層等、使其具備均一的鈍態膜、金屬表面層及其純淨狀態的產品。

 

 

 

一般流程

 

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工程流程

 

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金屬軟管Bellow

 

 

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材質：不鏽鋼316L [BA/EP處理]
口徑：1/4’’~1/2”
壓力：真空~5KG
包金屬網：真空~120KG
接頭型式：皆可
◆可包金屬網

 

  

  

Gas line

 

 

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氦氣回收系統 

 

 

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配管工程

 

 

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機台面盤配置

 

 

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真空管件設計與修造

 

 

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儲氣設備

 

 

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