營業項目
特殊氣體供應系統設計及製作、爐管設備供氣面盤設計及製作、蝕刻設備閥組件製作、真空管路製作及修造、Trap製作及修造、高壓大流量供氣系統設計及製作…等。
管件等級
BA管等級 (Bright Annealing) | 光亮熱處理,適用於排氣及無腐蝕性氣體。 |
EP管等級 (Electro polishing) | 電解研磨(亮面),適用於要求管道內面具有超高度平滑性與抗腐蝕性要求半導體,面板,生技醫療,高真空等產業。 |
UP管等級 (ULTRA EXTREME PURE) | 特殊內部處理技術,是利用特殊研磨處理技術、除去金屬表面的加工變質層、加工硬化層等、使其具備均一的鈍態膜、金屬表面層及其純淨狀態的產品。 |
一般流程
工程流程
金屬軟管Bellow
材質:不鏽鋼316L [BA/EP處理]
口徑:1/4’’~1/2”
壓力:真空~5KG
包金屬網:真空~120KG
接頭型式:皆可
◆可包金屬網
口徑:1/4’’~1/2”
壓力:真空~5KG
包金屬網:真空~120KG
接頭型式:皆可
◆可包金屬網
Gas line
氦氣回收系統
配管工程
機台面盤配置
真空管件設計與修造
儲氣設備